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芯 片
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制造芯片的过程十分复杂,关键的步骤是沉积、光刻胶涂覆、刻蚀、离子注入和封装。而这些步骤都离不开超纯水,因为芯片生产过程需要超纯水进行清洗。半导体超纯水系统是工业水处理系统中设计施工最为复杂,材料选择最为讲究,运行控制最为精密的系统,包括了众多的子系统,功能单元及配套系统,所以半导体超纯水的制备过程可以用“千锤百炼”来形容。

产品描述

碳化硅半导体行业超纯水:首先,我们采用先进的生产工艺和设备,确保产品的纯度和稳定性。我们的超纯水经过多道过滤和纯化步骤,去除了其中的杂质和有害物质,确保了产品的高纯度。其次,我们的产品具有良好的导电性能和热传导性能,适用于碳化硅半导体行业的生产和研发。此外,我们的超纯水还具有良好的溶解性和稳定性,可以有效地与其他材料进行反应和混合。

工艺流程
现场实况

Q≥150m³/h

电阻率≥18.25MΩ.cm

可溶硅≤3ppb

溶解氧≤25ppb

TOC≤20ppb

B 离子≤50ppt,其它金属离子(Cu、Fe、Na、Al 等)≤20ppt

Particles (>0.05m)<500pcs /L

BIM模型
  • 湖州项目-BIM 1F
  • 湖州项目-BIM 2F
  • 长期服务于半导体及相关行业(如:电子半导体、面板显示、半导体材料、光伏、新能源等),为工厂提供超纯水、废水、废气及自动化控制的完整解决方案。

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