纯水系统主要由以下子系统组成：
Q≥150m³/h
电阻率≥18.25MΩ.cm
可溶硅≤3ppb
溶解氧≤25ppb
TOC≤20ppb
B 离子≤50ppt，其它金属离子(Cu、Fe、Na、Al 等)≤20ppt
Particles (>0.05m)<500pcs /L
平台信息提交-隐私协议
· 隐私政策
暂无内容
